一
供养（香）
愿此香花云 遍满十方界
一一诸佛土 无量香庄严
具足菩萨道 成就如来香
二
礼敬
南无三世一切佛法僧三宝（一拜）
南无本师释迦牟尼佛（一拜）
南无东方净琉璃世界药师琉璃光如来（三拜）
南无日光遍照菩萨摩诃萨（一拜）
南无月光遍照菩萨摩诃萨（一拜）
南无文殊师利菩萨摩诃萨（一拜）
南无执金刚菩萨摩诃萨（一拜）
南无药师会上十二药叉大将八万四千药叉护法诸天菩萨（一拜）
三
赞叹
归命满月界 净妙琉璃尊
法药救人天因中十二愿
慈悲弘誓广愿度诸含生
七佛药师王我今皈命礼
四
忏悔
我昔所造诸恶业皆由无始贪嗔痴
从身语意之所生一切我今皆忏悔
五
发愿
众生无边誓愿度烦恼无量誓愿断
法门无量誓愿学佛道无上誓愿成
愿一切众生现世得无上安乐乃至菩提
六
诵经
巴利语皈敬颂（三遍）
巴利语三皈依颂（三遍）
南无药师会上佛菩萨（三称）
诵义净法师译《药师琉璃光七佛本愿功德经》（一遍）
或诵玄奘法师译《药师琉璃光如来本愿功德经》（一遍）
七
持名
善住宝海妙宝同法幢光音无胜融
无忧自在净琉璃圆满香积七佛通
南无善名称吉祥王如来
南无宝月智严光音自在王如来
南无金色宝光妙行成就如来
南无无忧最胜吉祥如来
南无法海雷音如来
南无法海胜慧游戏神通如来
南无药师琉璃光如来
（上至下顺序持诵七佛名号为一遍，至少七遍）
药师如来琉璃光焰网庄严无等伦
无边行愿利有情各遂所求皆不退
南无东方净琉璃世界药师琉璃光如来
南无药师琉璃光如来（至少一百零八遍）
南无日光遍照菩萨（三称）
南无月光遍照菩萨（三称）
八
持咒
药师灌顶真言（至少一百零八遍）
我今念诵秘密咒普通三界得清净
愿我生中除业障福德圆满利有情
生生世世恒受持四恩众生共成佛
九
回向偈
普愿一切众生现世安隐、后生善处
至心发愿命终往生阿弥陀佛极乐净土者可再作如下回向
愿以此功德庄严佛净土
上报四重恩下济三涂苦
若有见闻者悉发菩提心
尽此一报身同生极乐国
或
愿消三障诸烦恼愿得智慧真明了
普愿罪障悉消除世世常行菩萨道
